ナノチューブで超微細な立体回路、産総研チームが成功
次世代の新素材、カーボンナノチューブで、超微細な立体回路を作ることに、産業技術総合研究所（茨城県つくば市）の畠賢治チーム長らが成功した。
集積回路の小型化や高感度センサーの開発などに弾みがつくと期待される。４日のネイチャー・ナノテクノロジー誌電子版に発表する。
畠さんらはシリコンの基板上に約８００度に熱したガス状の炭素を吹き付けてナノチューブを合成。それらを半導体加工に使う技術を応用して加工した。
http://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20080504-00000042-yom-sci
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